Практикум по химии и технологии полупроводников
Анохин В.З., Гончаров Е.В., Угай Я.А. и др., Под общей редакцией Угая Я. А.
В книге дано описание лабораторных работ по химии и технологии полупроводников. Пособие предназначено для изучения основных методов физико-химических исследования конденсированных систем (ДТА, тензиметрические методы, построение P-T-x диаграмм, методы микроструктурного анализа и микротвердости), различных методов синтеза, кристаллизационной очистки и выращивания монокристаллов полупроводниковых соединений. Книга знакомит с основными технологическими операциями в производстве полупроводниковых приборов (окисление, диффузия, эпитаксия, травление). В каждой лабораторной работе дано теоретическое введение, приведены схемы приборов и оборудования, методы количественной обработки экспериментальных результатов.
Год:
1978
Издательство:
Высшая школа
Язык:
russian
Страницы:
96
Файл:
PDF, 43.34 MB
IPFS:
,
russian, 1978